中國領(lǐng)先的半導體制造 AMHS 整體解決方案廠(chǎng)商彌費科技舉辦新一代智能存儲解決方案攬星系列Stocker發(fā)布會(huì )。彌費科技首席技術(shù)官李宏偉博士擔綱發(fā)布會(huì )主講，對攬星系列產(chǎn)品進(jìn)行了深入的技術(shù)解讀和優(yōu)勢展示。
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李宏偉博士詳細闡述了攬星系列在產(chǎn)品效率、技術(shù)創(chuàng )新、性能穩定性以及智能化四個(gè)關(guān)鍵維度上實(shí)現的突破。強調了公司研發(fā)體系在這些技術(shù)進(jìn)步中的核心作用，展示了公司在半導體AMHS行業(yè)的深厚技術(shù)積累和廣泛的客戶(hù)端驗證優(yōu)勢。
“關(guān)于A(yíng)MHS存儲解決方案Stocker”
在半導體制造工廠(chǎng)中，晶圓盒存儲設備Stocker專(zhuān)為半導體生產(chǎn)工序間載具的存儲而設計。作為生產(chǎn)線(xiàn)上的關(guān)鍵中轉站和緩沖區，Stocker與AMHS的協(xié)同工作是提高廠(chǎng)區空間利用的關(guān)鍵。它不僅能夠有效緩解物流擁堵，縮短傳送周期，還能精準管理復雜的批次操作，確保生產(chǎn)設備的產(chǎn)能得到最大化利用。
01 提升產(chǎn)品效率助力客戶(hù)高效生產(chǎn)
李宏偉博士指出，更高速的搬運需要機械和控制共同實(shí)現。攬星系列在提升生產(chǎn)效率方面的卓越表現，得益于產(chǎn)品采用了新型的傳動(dòng)機構，對Stocker堆垛機系統和機械臂系統都進(jìn)行了優(yōu)化，大幅提升了系統剛性，確保在更高速度下的平穩性和低振動(dòng)。
同時(shí)，對控制系統在多軸聯(lián)動(dòng)控制上進(jìn)行了算法和軌跡的優(yōu)化，能夠同時(shí)接收并處理多個(gè)搬運指令，進(jìn)一步減少了重復通訊時(shí)間，實(shí)現了30%的速度提升。攬星系列多軸搬運機構支持最高2m/s的運動(dòng)速度，實(shí)現最大200次每小時(shí)的搬運效率，達到行業(yè)領(lǐng)先水平。這種高效性降低了物料搬運的等待時(shí)間，實(shí)現了生產(chǎn)節拍的進(jìn)一步優(yōu)化，能夠助力提高晶圓廠(chǎng)的整體產(chǎn)能。
02 引入創(chuàng )新技術(shù)引領(lǐng)行業(yè)標準
首先，攬星系列導入了在彌費科技OHT天車(chē)系統中非常成熟的CPS非接觸供電技術(shù)，優(yōu)化了Stocker內部空間布局，同時(shí)能夠有效降低堆垛機線(xiàn)纜磨損與Particle問(wèn)題，提升存儲空間的潔凈度水平。
針對12吋先進(jìn)制程晶圓產(chǎn)品的保護，攬星系列做到了僅0.35G的振動(dòng)值指標。這是因為攬星Stocker運動(dòng)機構采用全新的減振設計，使用雙滑軌和行走輪，并采用多軸插補聯(lián)動(dòng)控制與伺服控制算法，實(shí)現了對機械臂的精準控制與動(dòng)態(tài)振動(dòng)抑制。
同時(shí)為了適配更先進(jìn)制程的晶圓存儲，攬星系列采用了存儲凈化一體化設計，全部?jì)ξ慌渲脙艋K，可根據客戶(hù)需求進(jìn)行Purge功能配置，并基于控制軟件實(shí)現更精準氣路流量監控，快速達成目標濕度。
此外，攬星系列還采用了平臺化設計架構，基于模塊化設計理念，將Stocker各個(gè)模塊、部件、子系統進(jìn)行了更精細化的定義，各個(gè)功能模塊能夠獨立維護與升級，使其可以更靈活的組合和擴展以滿(mǎn)足不同客戶(hù)的產(chǎn)品定制要求，特別是針對不同晶圓、光罩載具的適配，在機械臂的末端做了非常靈活的接口，支持各類(lèi)末端夾持，各個(gè)模塊都可以通過(guò)軟件進(jìn)行配置，實(shí)現高效的協(xié)同。這些創(chuàng )新技術(shù)的應用，不僅彰顯了彌費科技在技術(shù)研發(fā)方面的深厚實(shí)力，也為半導體制造行業(yè)樹(shù)立了新的技術(shù)標桿。
03 提升可靠性構建驗證優(yōu)勢
性能穩定是半導體制造設備不可或缺的重要特性，攬星SS3000實(shí)現了可靠性指標平均無(wú)故障工作時(shí)間(MTBF)超過(guò)了2000小時(shí)。李宏偉博士介紹，攬星系列采用了分布式控制系統，將存儲系統的多個(gè)模塊進(jìn)行了分布式設計，各自采用獨立的控制器，提高了系統可靠性，在運動(dòng)機構反饋控制上，使用了線(xiàn)性位移傳感器，建立了全閉環(huán)控制，實(shí)現了正負0.5mm的更精準定位。
獲得SEMI專(zhuān)業(yè)機構CE、S2、S23、F47 認證
同時(shí)，攬星系列還經(jīng)過(guò)了超4000小時(shí)的連續集成測試，并獲得了SEMI專(zhuān)業(yè)機構的多項認證，充分驗證了其卓越的可靠性與穩定性。這些措施不僅確保了設備在長(cháng)時(shí)間運行中的高效穩定，也為客戶(hù)提供了更加可靠的生產(chǎn)保障。
他強調，取得這樣的技術(shù)突破，得益于彌費過(guò)去的存儲產(chǎn)品在客戶(hù)現場(chǎng)的海量運行數據和客戶(hù)直接反饋?；谶@些數據，研發(fā)團隊可以高效開(kāi)展各種失效模式分析，開(kāi)展正向仿真優(yōu)化，從根本上提升可靠性，這也是我們彌費科技研發(fā)體系的重要工作方法。
04 智能化創(chuàng )新，推動(dòng)半導體制造升級
最后，李宏偉博士還重點(diǎn)介紹了攬星系列在智能化方面的創(chuàng )新成果。他提到，基于彌費科技全自研的MCS物料控制系統軟件，攬星系列通過(guò)存儲軟件MSSC標準接口設計，能夠支持包括Sorter分選機，AMR移動(dòng)機器人，OHT天車(chē)系統和Conveyor軌道系統等多種設備的對接和協(xié)同運行，實(shí)現快速集成，快速部署和快速切換。
在MSSC軟件方面，通過(guò)基于數據分析的存儲布局優(yōu)化與基于序列預測的智能任務(wù)規劃，攬星系列能夠顯著(zhù)提升生產(chǎn)效率與存儲效率，并為用戶(hù)提供更加便捷、高效的操作體驗。
發(fā)布會(huì )互動(dòng)環(huán)節/ Q&A
Q1 您認為哪項技術(shù)創(chuàng )新最為關(guān)鍵，它如何提升了產(chǎn)品的整體性能？
李宏偉博士: “攬星系列是一個(gè)復雜而精密的存儲解決方案系統，而且用在對可靠性和安全性要求極高的半導體制造工廠(chǎng)。因此剛剛介紹的這些產(chǎn)品亮點(diǎn)都不是單一的技術(shù)創(chuàng )新能夠實(shí)現，它需要在系統設計和工程下，多個(gè)技術(shù)點(diǎn)共同作用實(shí)現。比如0.35G振動(dòng)指標的達成，就包括機械，機構，伺服控制和軟件算法多方面?！?/p>
Q2 攬星系列相比市場(chǎng)上的其他智能存儲產(chǎn)品，有哪些獨特的競爭優(yōu)勢？它如何滿(mǎn)足客戶(hù)的特定需求？
李宏偉博士: “攬星系列是基于超過(guò)100臺上一代產(chǎn)品的大量運行數據分析和客戶(hù)反饋，進(jìn)行針對性設計優(yōu)化，并融入了對行業(yè)趨勢和共性問(wèn)題的深入分析。我們提升了搬運效率至最大200筆/小時(shí)，可靠性超過(guò)2000小時(shí)，大幅提升客戶(hù)生產(chǎn)效率。同時(shí)，引入多項新技術(shù)，滿(mǎn)足半導體客戶(hù)升級需求，提升產(chǎn)能和質(zhì)量?！?/p>
Q3 能否分享一下攬星系列在實(shí)際應用場(chǎng)景中的具體案例，以及它為客戶(hù)帶來(lái)了哪些顯著(zhù)的價(jià)值和效益？
李宏偉博士: “攬星系列Stocker是半導體制造前后道的主要存儲設備，它完全兼容上一代產(chǎn)品應用場(chǎng)景，涵蓋8寸、12寸及光罩的各種標準和特定載具存儲要求，老客戶(hù)可直接升級，享受新性能、新安全、新可靠性帶來(lái)的產(chǎn)能與效率提升。攬星振動(dòng)指標低至0.35G，適用于晶圓更薄、更易碎場(chǎng)合，并配備空間凈化系統，滿(mǎn)足更先進(jìn)制程的存儲需求?！?/p>
Q4彌費科技在未來(lái)是否計劃對攬星系列進(jìn)行進(jìn)一步的升級或擴展？
李宏偉博士: “攬星是一個(gè)完全平臺化的設計，平臺本身具備非常強大的擴展性和升級潛力，不管是軟件和硬件，所以未來(lái)攬星每年都會(huì )有新發(fā)布，以滿(mǎn)足客戶(hù)持續的需求。我們升級的重點(diǎn)方向是四個(gè)：第一，持續提升可靠性，突破更高的平均無(wú)故障時(shí)間；第二，持續增強凈化能力，滿(mǎn)足先進(jìn)制程的需求，第三，持續引入與人工智能相關(guān)的技術(shù)，比如視覺(jué)，大模型，數據分析，提升智能化交互的水平。第四，拓展一些全新的型號，滿(mǎn)足晶圓制造工廠(chǎng)的特殊存儲要求。
李宏偉博士在發(fā)布會(huì )最后表示：“我們相信攬星系列可以成為半導體AMHS行業(yè)的新標桿，可以滿(mǎn)足新老客戶(hù)的日益提高的存儲需求，也可以引領(lǐng)市場(chǎng)存儲類(lèi)產(chǎn)品持續提升全球的競爭力。請大家持續關(guān)注彌費科技，我們在下半年還會(huì )有其他多種新產(chǎn)品上市，會(huì )有更多發(fā)布會(huì )期待您的參與?！?/em>
彌費科技新一代智能存儲解決方案攬星系列Stocker的發(fā)布標志著(zhù)彌費科技已完成研發(fā)、測試全價(jià)值鏈體系的優(yōu)勢構建。作為中國半導體AMHS行業(yè)領(lǐng)先廠(chǎng)商，彌費科技將依托在A(yíng)MHS領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累，以技術(shù)創(chuàng )新為驅動(dòng)，全面推進(jìn)自動(dòng)化物料搬運系統（AMHS）升級，為客戶(hù)提供更加優(yōu)質(zhì)、高效的產(chǎn)品和服務(wù)。
